AVP 6T GMR PVD

-廣泛适用于MEMS器件、GMR、TMR器件、多層膜、磁性薄膜沉積
-成熟、可靠、低成本、高産能、7/24連續運行的薄膜沉積系統
-歐美工業生産驗證的、成熟的8英寸RF、DC、Pulsed DC等薄膜沉積工藝
-6靶材工藝腔體，尤其适合GMR、TMR等多層膜沉積