AVP 4T PVD SYSTEM

-各種薄膜、精密光學薄膜沉積的解決方案
-各種成熟的、2-8英寸的RF、DC、Pulsed DC、反應等薄膜沉積工藝
-成熟、可靠、低成本、高産能、7/24連續運行的薄膜沉積系統
-廣泛應用于歐美光學器件、MEMS、存儲等工業界的薄膜沉積