AVP CLUSTER PVD
- 半導體、硬盤、光學、LED、MEMS、MRAM鍍膜解決方案
- 可靠、低成本、高産能薄膜沉積系統
- 廣泛應用于歐美工業生産
- 各種成熟的DC/Pulse DC/RF磁控薄膜沉積工藝
- 可以定制系統布局/PM/組件