産品技術
Product technology
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Ion Beam Source GRID
-栅網（GRID）爲離子源的關鍵部件
-由多層難熔金屬，如Mo等，構成
-栅網中間由蜂窩狀圖形構成
-施加不同電勢在各個栅網，以引導且加速平行、高能的離子束
産品參數

-超精密加工金屬Mo多層栅網；

-全自動測量，并多工藝控制金屬Mo栅網的形變；

-專有工具安裝，确保各層栅網位置精準對齊；

-出廠前（FAT）工藝測試，滿足各功率條件下刻蝕均勻性要求。


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