| 工藝腔體(PM) | 6英寸晶圓，6個12英寸靶材；或8英寸晶圓，6個13英寸靶材 |
| 運輸腔體(TM) | Brooks MarathronTM Express，帶晶圓位置校準儀 |
| 樣品上、下載腔體(LL) | Brooks VCE, 12片或定制晶圓盒(Cassette) |
| 磁控管 | 直流/脈沖直流/射頻/射頻磁控；置于腔體上蓋自動靶材擋闆 |
| 典型靶材電源 | 直流/脈沖直流磁控：最大5kW；射頻/射頻磁控：最大10kW |
| 晶圓基座 | |
| 偏壓 | ~1kW射頻電源，用于晶圓置偏壓或預清潔 |
| 偏置磁場 | 雙向偏磁場（垂直、平行） |
| 氣體 | Ar, O2, N2 |
| 基底真空 | < 2 x 10-8 Torr |
| 高真空泵 | 可選，冷泵/分子泵 + 水泵 + 機械泵 |
| 自動控制 | DeviceNet/PLC |
| 軟件 | 基于最新WINDOWS的工業控制軟件 |
| 薄膜均勻性 | σ < 1.0% |
